Das ultrahochreine Swagelok ALD7-Ventil
ALD7 - die neueste Innovation in der Atomschichtsedimentierungsventiltechnologie
Das ALD7 Ventil von Swagelok weist schnellere Reaktionszeiten, thermische Stabilität bei hohen Temperaturen und verbesserte Korrosionsbeständigkeit auf. Es liefert zuverlässige Leistung von Ventil zu Ventil, von Dosis zu Dosis und von Kammer zu Kammer für eine sehr lange Zyklusdauer.
Technische Daten
| Arbeitsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3200 psig) |
| Steuerdruck | 4,1 bis 8,27 bar (60 bis 120 psig) |
| Temperaturbereich | Ventilkörper von 0°C (32°F) bis 200°C (392°F) Steuerkopf von 0°C (32°F) bis 150°C (302°F) |
| Durchflusskoeffizient | 0,7 Cv |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Super-Legierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | |
| Typ | VCR® Fittings Rohrstumpfschweißenden Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,5 Zoll) mit hohem Durchfluss |
Weitere Informationen über das ALD7-Ventil finden Sie hier.
Erfahren Sie auch, wie Sie Herausforderungen in der Halbleiterherstellung mittels Atomlagenabscheidung erfolgreich meistern, oder wie mithilfe des richtigen Ventils, genauere und konsistentere ALD-Prozesse erreicht werden.
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